Erdélyi Miklós
Resolution enhancement techniques in optical microlithography based on multiple imaging.
Doktori (PhD) értekezés, József Attila Tudományegyetem (1962-1999).
(1999)
(Kéziratban)
Előnézet |
Szöveg
(Disszertáció)
Download (44MB) | Előnézet |
Előnézet |
Szöveg
(Tézisfüzet)
Download (5MB) | Előnézet |
![[thumbnail of 1999_erdelyi_miklos_biralat.pdf]](https://doktori.bibl.u-szeged.hu/style/images/fileicons/text.png "1999_erdelyi_miklos_biralat.pdf") |
Szöveg
(Bírálati lap)
Restricted to Csak az archívum karbantartója Download (2MB) |
| Mű típusa: | Disszertáció (Doktori (PhD) értekezés) |
|---|---|
| Publikációban használt név: | Erdélyi Miklós |
| Témavezető(k): | Témavezető neve Beosztás, tudományos fokozat, intézmény MTMT szerző azonosító Bor Zsolt Prof. Dr., Optikai és Kvantumelektronikai Tanszék 10000960 |
| Szakterület: | 01. Természettudományok 01. Természettudományok > 01.03. Fizikai tudományok |
| Doktori iskola: | Fizika Doktori Iskola |
| Tudományterület / tudományág: | Természettudományok > Fizika |
| Nyelv: | angol |
| Védés dátuma: | 1999 |
| Megjegyzések: | PhD ; Terjedelem: VIII, 87 lev. + Tézis [5] lev. + 2 db opp. vélemény |
| Kulcsszavak: | Fizika |
| EPrint azonosító (ID): | 4297 |
| A feltöltés ideje: | 2022. márc. 08. 08:59 |
| Utolsó módosítás: | 2022. márc. 08. 08:59 |
| Raktári szám: | B 3659 |
| URI: | https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4297 |
| Védés állapota: | védett |
Actions (login required)
 | Tétel nézet |
