Erdélyi Miklós
Resolution enhancement techniques in optical microlithography based on multiple imaging.
Doktori értekezés, József Attila Tudományegyetem (1962-1999).
(1999)
(Kéziratban)
Előnézet |
PDF
(disszertáció)
Download (44MB) | Előnézet |
Előnézet |
PDF
(tézisfüzet)
Download (5MB) | Előnézet |
PDF
(bírálati lap)
Restricted to Csak az archívum karbantartója Download (2MB) |
Mű típusa: | Disszertáció (Doktori értekezés) |
---|---|
Publikációban használt név: | Erdélyi Miklós |
Témavezető(k): | Témavezető neve Beosztás, tudományos fokozat, intézmény MTMT szerző azonosító Bor Zsolt Prof. Dr., Optikai és Kvantumelektronikai Tanszék 10000960 |
Szakterület: | 01. Természettudományok 01. Természettudományok > 01.03. Fizikai tudományok |
Doktori iskola: | Fizika Doktori Iskola |
Tudományterület / tudományág: | Természettudományok > Fizika |
Nyelv: | angol |
Védés dátuma: | 1999 |
Megjegyzések: | PhD ; Terjedelem: VIII, 87 lev. + Tézis [5] lev. + 2 db opp. vélemény |
Kulcsszavak: | Fizika |
EPrint azonosító (ID): | 4297 |
A feltöltés ideje: | 2022. márc. 08. 08:59 |
Utolsó módosítás: | 2022. márc. 08. 08:59 |
Raktári szám: | B 3659 |
URI: | https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4297 |
Védés állapota: | védett |
Actions (login required)
Tétel nézet |