Resolution enhancement techniques in optical microlithography based on multiple imaging

Erdélyi Miklós
Resolution enhancement techniques in optical microlithography based on multiple imaging.
Doktori értekezés, József Attila Tudományegyetem (1962-1999).
(1999) (Kéziratban)

[thumbnail of 1999_erdelyi_miklos.pdf]
Előnézet
PDF (disszertáció)
Download (44MB) | Előnézet
[thumbnail of 1999_erdelyi_miklos_tezis.pdf]
Előnézet
PDF (tézisfüzet)
Download (5MB) | Előnézet
[thumbnail of 1999_erdelyi_miklos_biralat.pdf] PDF (bírálati lap)
Restricted to Csak az archívum karbantartója

Download (2MB)
Mű típusa: Disszertáció (Doktori értekezés)
Publikációban használt név: Erdélyi Miklós
Témavezető(k):
Témavezető neve
Beosztás, tudományos fokozat, intézmény
MTMT szerző azonosító
Bor Zsolt
Prof. Dr., Optikai és Kvantumelektronikai Tanszék
10000960
Szakterület: 01. Természettudományok
01. Természettudományok > 01.03. Fizikai tudományok
Doktori iskola: Fizika Doktori Iskola
Tudományterület / tudományág: Természettudományok > Fizika
Nyelv: angol
Védés dátuma: 1999
Megjegyzések: PhD ; Terjedelem: VIII, 87 lev. + Tézis [5] lev. + 2 db opp. vélemény
Kulcsszavak: Fizika
EPrint azonosító (ID): 4297
A feltöltés ideje: 2022. márc. 08. 08:59
Utolsó módosítás: 2022. márc. 08. 08:59
Raktári szám: B 3659
URI: https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4297
Védés állapota: védett

Actions (login required)

Tétel nézet Tétel nézet

Letöltések

Letöltések havi bontásban az elmúlt egy évben