Lézerrel kezelt szilícium felületek, valamint impulzuslézeres rétegépítéssel előállított amorf szilícium és SixC vékonyrétegek ellipszometriai vizsgálata

Hanyecz István
Lézerrel kezelt szilícium felületek, valamint impulzuslézeres rétegépítéssel előállított amorf szilícium és SixC vékonyrétegek ellipszometriai vizsgálata.
Doktori (PhD) értekezés, Szegedi Tudományegyetem (2000-).
(2015) (Kéziratban)

[thumbnail of HanyeczI PhD dolgozat.pdf]
Előnézet
Szöveg (Disszertáció)
Download (24MB) | Előnézet
    [thumbnail of HanyeczI Tezisfuzet.pdf]
    Előnézet
    Szöveg (Tézisfüzet)
    Download (165kB) | Előnézet
      [thumbnail of HanyeczI Thesesbook.pdf]
      Előnézet
      Szöveg (Tézisfüzet)
      Download (161kB) | Előnézet
        Mű típusa: Disszertáció (Doktori (PhD) értekezés)
        Publikációban használt név: Hanyecz István
        Idegen nyelvű cím:Ellipsometric investigation of laser textured silicon surfaces and pulsed laser deposited amorphous silicon and SixC thin films
        Témavezető(k):
        Témavezető neve
        Beosztás, tudományos fokozat, intézmény
        MTMT szerző azonosító
        Tóth Zsolt
        PhD, tudományos főmunkatárs, SZTE TTIK Optikai és Kvantumelektronikai Tanszék
        10010061
        Szakterület:01. Természettudományok > 01.03. Fizikai tudományok
        Doktori iskola:Fizika Doktori Iskola
        Tudományterület / tudományág:Természettudományok > Fizika
        Nyelv:magyar
        Védés dátuma:2015. május 07.
        EPrint azonosító (ID):2267
        A mű MTMT azonosítója:2994696
        doi:https://doi.org/10.14232/phd.2267
        A feltöltés ideje:2014. jún. 23. 15:21
        Utolsó módosítás:2020. ápr. 07. 11:30
        Raktári szám:B 5877
        URI:https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/2267
        Védés állapota: védett

        Actions (login required)

        Tétel nézetTétel nézet