Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára

Pápa Zsuzsanna
Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára.
Doctoral thesis (PhD), University of Szeged.
(2017) (Unpublished)

[thumbnail of PhD_ertekezes_PapaZs.pdf]
Preview
PDF (thesis)
Download (2MB) | Preview
[thumbnail of tezisfuzet_magyar_PapaZs.pdf]
Preview
PDF (booklet)
Download (190kB) | Preview
[thumbnail of tezisfuzet_angol_PapaZs.pdf]
Preview
PDF (booklet)
Download (181kB) | Preview

Abstract in foreign language

A doktori disszertációm témája a spektroszkópiai ellipszometria, ezen belül is a depolarizáló tulajdonságú minták vizsgálata. Az ellipszometriai mérési módszer azon alapul, hogy ha a vizsgálandó mintát ismert polarizációs állapotú fénnyel megvilágítjuk, akkor a mintáról való visszaverődés során a polarizációs állapot a mintára jellemző módon fog megváltozni. Ennek detektálásával következtetni tudunk a minta számos tulajdonságára, leggyakrabban a szerkezetre és az optikai jellemzőkre. Ha a minta vagy a mérőeszköz egyes tulajdonságai olyan módon befolyásolják a mérést, hogy a visszaverődő fény nem jellemezhető egy tiszta polarizációs állapottal, akkor depolarizáció megjelenéséről beszélhetünk. A depolarizáció különböző forrásokból eredhet, azonban minden esetben lerontja a mérés pontosságát és körültekintő kiértékelést követel meg a kezelése. Doktori munkám fő feladata a depolarizáció különféle típusainak vizsgálata, illetve az egyes típusok esetén a kiértékelést megkönnyítő eljárások megadása volt.

Item Type: Thesis (Doctoral thesis (PhD))
Creators: Pápa Zsuzsanna
Title of the thesis in foreign language: Depolarization sources and their effect on spectroscopic ellipsometric investigation of thin layers
Supervisor(s):
Supervisor
Position, academic title, institution
MTMT author ID
Budai Judit
tudományos munkatárs, SZTE TTIK Optikai és Kvantumelektronikai Tanszék
10045669
Tóth Zsolt
tudományos főmunkatárs, SZTE FOK Orálbiológiai és Kísérletes Fogorvostudományi Tanszék
10010061
Subjects: 01. Natural sciences > 01.03. Physical sciences
Divisions: Doctoral School of Physics
Discipline: Natural Sciences > Physics
Language: Hungarian
Date: 2017. November 15.
Item ID: 4012
MTMT identifier of the thesis: 3349337
doi: https://doi.org/10.14232/phd.4012
Date Deposited: 2017. Jun. 08. 14:59
Last Modified: 2020. May. 26. 11:23
Depository no.: B 6283
URI: https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4012
Defence/Citable status: Defended.

Actions (login required)

View Item View Item

Downloads

Downloads per month over past year