Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára

Pápa Zsuzsanna
Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára.
[Thesis] (Unpublished)

[thumbnail of PhD_ertekezes_PapaZs.pdf]
Preview
PDF (disszertáció)
Download (2MB) | Preview
[thumbnail of tezisfuzet_magyar_PapaZs.pdf]
Preview
PDF (tézis)
Download (190kB) | Preview
[thumbnail of tezisfuzet_angol_PapaZs.pdf]
Preview
PDF (tézis)
Download (181kB) | Preview

Abstract in foreign language

A doktori disszertációm témája a spektroszkópiai ellipszometria, ezen belül is a depolarizáló tulajdonságú minták vizsgálata. Az ellipszometriai mérési módszer azon alapul, hogy ha a vizsgálandó mintát ismert polarizációs állapotú fénnyel megvilágítjuk, akkor a mintáról való visszaverődés során a polarizációs állapot a mintára jellemző módon fog megváltozni. Ennek detektálásával következtetni tudunk a minta számos tulajdonságára, leggyakrabban a szerkezetre és az optikai jellemzőkre. Ha a minta vagy a mérőeszköz egyes tulajdonságai olyan módon befolyásolják a mérést, hogy a visszaverődő fény nem jellemezhető egy tiszta polarizációs állapottal, akkor depolarizáció megjelenéséről beszélhetünk. A depolarizáció különböző forrásokból eredhet, azonban minden esetben lerontja a mérés pontosságát és körültekintő kiértékelést követel meg a kezelése. Doktori munkám fő feladata a depolarizáció különféle típusainak vizsgálata, illetve az egyes típusok esetén a kiértékelést megkönnyítő eljárások megadása volt.

Item Type: Thesis (Doktori értekezés)
Creators: Pápa Zsuzsanna
Title of the thesis in foreign language: Depolarization sources and their effect on spectroscopic ellipsometric investigation of thin layers
Divisions: Doctoral School of Physics
Tudományterület / tudományág: Natural Sciences > Physics
Nyelv: Hungarian
Date: 2017. November 15.
Item ID: 4012
A mű MTMT azonosítója: 3349337
doi: https://doi.org/10.14232/phd.4012
Date Deposited: 2017. Jun. 08. 14:59
Last Modified: 2020. May. 26. 11:23
Depository no.: B 6283
URI: https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4012
Defence/Citable status: Defended.

Actions (login required)

View Item View Item

Downloads

Downloads per month over past year