Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára

Pápa Zsuzsanna
Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára.
PhD, University of Szeged.
(2017)

[img]
Preview
PDF (disszertáció)
Download (2MB) | Preview
[img]
Preview
PDF (tézis)
Download (181kB) | Preview
[img]
Preview
PDF (tézis)
Download (190kB) | Preview

Abstract in foreign language

A doktori disszertációm témája a spektroszkópiai ellipszometria, ezen belül is a depolarizáló tulajdonságú minták vizsgálata. Az ellipszometriai mérési módszer azon alapul, hogy ha a vizsgálandó mintát ismert polarizációs állapotú fénnyel megvilágítjuk, akkor a mintáról való visszaverődés során a polarizációs állapot a mintára jellemző módon fog megváltozni. Ennek detektálásával következtetni tudunk a minta számos tulajdonságára, leggyakrabban a szerkezetre és az optikai jellemzőkre. Ha a minta vagy a mérőeszköz egyes tulajdonságai olyan módon befolyásolják a mérést, hogy a visszaverődő fény nem jellemezhető egy tiszta polarizációs állapottal, akkor depolarizáció megjelenéséről beszélhetünk. A depolarizáció különböző forrásokból eredhet, azonban minden esetben lerontja a mérés pontosságát és körültekintő kiértékelést követel meg a kezelése. Doktori munkám fő feladata a depolarizáció különféle típusainak vizsgálata, illetve az egyes típusok esetén a kiértékelést megkönnyítő eljárások megadása volt.

Item Type: Thesis (PhD)
Creators: Pápa Zsuzsanna
Hungarian title label: Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára
Title of the thesis in foreign language: Depolarization sources and their effect on spectroscopic ellipsometric investigation of thin layers
Divisions: Doctoral School of Physics
Discipline label: Natural Sciences > Physics
Defence date label: 2017. November 15.
Item ID: 4012
Identification Number: 3349337
doi: https://doi.org/10.14232/phd.4012
Date Deposited: 2017. Jun. 08. 14:59
Last Modified: 2018. Mar. 19. 15:20
Depository no.: B 6283
URI: http://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4012
Defence/Citable status: Defended.

Actions (login required)

View Item View Item

Downloads

Downloads per month over past year