Lézerrel kezelt szilícium felületek, valamint impulzuslézeres rétegépítéssel előállított amorf szilícium és SixC vékonyrétegek ellipszometriai vizsgálata

Hanyecz István
Lézerrel kezelt szilícium felületek, valamint impulzuslézeres rétegépítéssel előállított amorf szilícium és SixC vékonyrétegek ellipszometriai vizsgálata.
Doktori értekezés, Szegedi Tudományegyetem.
(2015)

[img]
Előnézet
PDF (disszertáció)
Download (24MB) | Előnézet
[img]
Előnézet
PDF (tézis)
Download (165kB) | Előnézet
[img]
Előnézet
PDF (tézis)
Download (161kB) | Előnézet
Mű típusa: Disszertáció (Doktori értekezés)
Doktori iskola: Fizika Doktori Iskola
Tudományterület / tudományág: természettudományok > fizikai tudományok
Magyar cím: Lézerrel kezelt szilícium felületek, valamint impulzuslézeres rétegépítéssel előállított amorf szilícium és SixC vékonyrétegek ellipszometriai vizsgálata
Idegen nyelvű cím: Ellipsometric investigation of laser textured silicon surfaces and pulsed laser deposited amorphous silicon and SixC thin films
Témavezető(k):
Témavezető neveBeosztás, tudományos fokozat, intézményEmail
Dr. Tóth ZsoltPh.D., tudományos főmunkatárs, SZTE Optikai és Kvantumelektronikai Tanszékztoth@physx.u-szeged.hu
EPrint azonosító (ID): 2267
Publikációban használt név : Hanyecz István
A mû MTMT azonosítója: 2994696
doi: 10.14232/phd.2267
A feltöltés ideje: 2014. jún. 23. 15:21
Utolsó módosítás: 2016. jan. 11. 13:52
Egyebek (raktári szám): B 5877
URI: http://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/2267
Védés állapota: védett

Actions (login required)

Tétel nézet Tétel nézet